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用于制备纳米多层膜的金属掩膜法的研究

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【作者】 由臣赵燕平孙永昌王玉红刘技文

【Author】 YOU Chen;ZHAO Yan-ping;SUN Yong - chang;WANG Yu - hong;LIU Ji - wen Department of Material Science and Engineering,Tanjin Institute of Technology,Tianin 300191,China

【机构】 天津理工学院材料科学与工程系天津理工学院材料科学与工程系 天津 300191天津 300191天津 300191

【摘要】 简介了现有金属腌膜法制备纳米多层膜的过程,指出采用定位图形套准模板存在的弊端,研制出采用定位框固定基片、套准模板的制备新方法及装置。试验表明,采用该方法可显著提高制备纳米多层膜的完好率及套准精度。

【关键词】 纳米多层膜定位框套准模板
【基金】 天津市高等学校科技发展基金(01-20216)
  • 【DOI】10.14024/j.cnki.1004-244x.2004.03.012
  • 【分类号】TB383
  • 【被引频次】2
  • 【下载频次】155
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