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拉曼光谱在第三代半导体材料测试领域的应用

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【作者】 付丙磊张争光王志越

【Author】 FU Binglei;ZHANG Zhengguang;WANG Zhiyue;The CETC Electronic Equipment Group Co.,Ltd.;

【机构】 中电科电子装备集团有限公司

【摘要】 对第三代半导体GaN材料体系的拉曼光谱测试进行了综述,并展望了其在第三代半导体无损检测领域的应用前景。

【关键词】 拉曼光谱GaN无损检测
【所属期刊栏目】 测试与测量 (2018年04期)
  • 【分类号】TN304.07
  • 【下载频次】142
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