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一种高性能硅基锗单行载流子光电探测器设计

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【作者】 马鹏程孙思维刘丰满薛海韵孙瑜何慧敏李志雄曹立强

【Author】 MA Peng-cheng;SUN Si-wei;LIU Feng-man;XUE Hai-yun;SUN Yu;HE Hui-min;LI Zhi-xiong;CAO Li-qiang;Institute of Microelectronics of Chinese Academy of Science;University of Chinese Academy of Sciences;National Center for Advanced Packaging Co., Ltd.;

【通讯作者】 孙思维;

【机构】 中国科学院微电子研究所中国科学院大学华进半导体封装先导技术研发中心有限公司

【摘要】 光电探测器作为光通信系统的核心器件之一,其性能对通信质量起着决定性的作用。随着光通信数据量的剧增,传统的光电探测器已经不能满足需求。文章提出一种集成氮化硅波导的高性能硅基锗单行载流子光电探测器。借助Lumerical FDTD和DEVICE软件进行建模仿真,通过对波导结构以及探测器尺寸进行设计,最终该结构在1 550 nm波长和-1 V偏压下,响应度高达0.97 A/W,光电流线性输出>30 mA,3 dB带宽高达28 GHz。

【基金】 国家自然科学基金资助项目(61874136)
【所属期刊栏目】 光电器件研究与应用 (2019年03期)
  • 【DOI】10.13756/j.gtxyj.2019.03.006
  • 【分类号】TN15
  • 【下载频次】90
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