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冷等离子体对硅-锗纯化的实验研究

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【作者】 陶甫廷王敬义冯信华陶臻宇张巍陈文辉苏庆平何笑明

【Author】 TAO Fu ting\+1,WANG Jing yi\+2,FENG Xin hua\+2,TAO Zheng yu\+1, CHENG Wen huei\+1, ZHANG Wei\+1,SU Qing ping\+3,HE Xiao ming\+2 (1 Dept.of Electronic Information & Control Engneering,Guangxi University of Technology,Liouzhou 545006,China;2 De

【机构】 广西工学院电子信息与控制工程系!广西柳州545006华中理工大学电子科学与技术系!湖北武汉430074广西工学院电子信息与控制工程?

【摘要】 本文通过实验证实了冷等离子体对硅 -锗粉末的纯化作用 ,并探索了放电电流、放电时间、加热温度、反应器内总压力等参数对纯化效果的影响。从而为工业应用打下一定基础

【关键词】 硅-锗纯化冷等离子体表面反应
【基金】 广西自然科学基金资助项目 !:(批准号 :9912 0 0 4)“冷等离子体冶炼硅 -锗合金的研究”
  • 【DOI】10.16375/j.cnki.cn45-1395/t.2000.04.008
  • 【分类号】TN305
  • 【被引频次】3
  • 【下载频次】41
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