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圆筒形反应器粉体纯化动力学分析

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【作者】 陶甫廷王敬义冯信华

【Author】 TAO Fu-ting1,WANG Jing-yi2,YIN Sheng2 (1. Guangxi University of Technology, Liuzhou 545005, China; 2.Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074, China)

【机构】 广西工学院电子信息与控制工程系华中科技大学电子科学与技术系华中科技大学电子科学与技术系 广西柳州545006湖北武汉430074

【摘要】 对圆筒形纯化反应器的等离子体鞘层进行了动力学分析,得出了鞘区内离子速度的分布函数和不同位置上的离子平均动能。理论计算结果与实验数据吻合较好,对理论和实验工作方面都具有一定的指导意义。

【关键词】 粉体刻蚀分布函数等离子体纯化
【基金】 国家自然科学基金资助项目(10265002)。
  • 【DOI】10.16375/j.cnki.cn45-1395/t.2005.04.003
  • 【分类号】TB44
  • 【被引频次】1
  • 【下载频次】20
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