节点文献

一种基于感声波纹结构的光学式声传感器

免费订阅

【作者】 于洪峰王伟王世宁史鑫曹永海桂永雷

【Author】 YU Hong-feng;WANG Wei;WANG Shi-ning;SHI Xin;CAO Yong-hai;GUI Yong-lei;The 49th Research Institute,China Electronic Technology Group Corporation;

【机构】 中国电子科技集团公司第四十九研究所

【摘要】 设计了一种基于硅MEMS敏感结构的光学式声传感器,其光学调制原理采用强度调制型,微敏感结构采用具有低应力波纹结构的感声薄膜芯片。对光纤与微敏感结构耦合技术进行实验研究,优化光学参数,并制作传感器样品。经实验测试,灵敏度达80mV/Pa。

【关键词】 微机电系统光学检测声传感器灵敏度
【所属期刊栏目】 设计与制造 (2014年09期)
  • 【DOI】10.13873/J.1000-9787(2014)09-0068-03
  • 【分类号】TP212
  • 【被引频次】1
  • 【下载频次】62
节点文献中: 

本文链接的文献网络图示:

浏览历史:
下载历史: