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平面微型超级电容器石墨烯电极制备与表征

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【作者】 张光宇尹雁赵鹏飞刘琳婧李闯吕胤霖陈玉娟朱大福杨昕瑞

【Author】 ZHANG Guang-yu;YIN Yan;ZHAO Peng-fei;LIU Lin-jing;LI Chuang;Lü Yin-lin;CHEN Yu-juan;ZHU Da-fu;YANG Xin-rui;School of Applied Sciences,Harbin University of Science and Technology;

【通讯作者】 张光宇;

【机构】 哈尔滨理工大学应用科学学院

【摘要】 为了研究化学气相沉积法(CVD)制备石墨烯电极性能,通过对CVD工艺参数的改进,成功地制备出了符合全固态平面微型超级电容器离子传输机制所需要的石墨烯薄膜电极。对比相同生长时间,不同甲烷浓度的石墨烯薄膜的性能;对比相同甲烷浓度,不同生长时间的石墨烯薄膜性能。结果表明,温度1 000℃、甲烷流量35 sccm、氢气流量10 sccm、生长时间60 min时,制备出的石墨烯薄膜质量和性能最好。此时石墨烯薄膜具有较低的薄膜方阻(60.28Ω/sq-155.75Ω/sq),厚度为1.25 nm。为平面微型超级电容器的进一步研究提供了重要参考。

【基金】 黑龙江省自然科学基金(F200831);黑龙江省大学生创新创业训练计划项目(201510214050)
  • 【DOI】10.15938/j.jhust.2019.01.022
  • 【分类号】TM53
  • 【下载频次】202
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