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真空磁控反应溅射TiN工艺研究

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【作者】 霍炳印王利峰刘志勇

【机构】 五二研究所五二研究所

【摘要】 本文叙述了真空磁控反应溅射沉积TiN涂层的基本原理和试验方法;对碳素工具钢刀具和硬质合金刀具进行了工艺试验;测定了涂层性能、进行了切削性能测定,使刀具寿命普遍有提高,最高达六倍的良好结果。

  • 【DOI】10.14024/j.cnki.1004-244x.1987.05.008
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