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CVD法PVD法工艺及其涂层研究现状

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【作者】 徐宗瑞

【机构】 北京工业学院

【摘要】 本文根据最近国外涂层复合材料、工艺及性能的研究结果,综述了化学气相沉积(CVD)法、物理气相沉积(PVD)法的工艺发展现状,分析了这两种工艺所获得涂层的组织结构、性能(硬度、耐磨性、粘着强度、涂层强度及韧性)特征及残留应力。结合我国CVD、PVD工艺的发展现状,认为将这两种工艺广泛地用于我国的生产实践、充分挖掘材料潜力,有效地节能、提高生产效率是很有意义的,应该继续进行大量的工作,积极推广应用。

  • 【DOI】10.14024/j.cnki.1004-244x.1987.11.002
  • 【被引频次】4
  • 【下载频次】255
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