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性能可控的非晶绝缘薄膜

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【作者】 史洪刚

【摘要】 <正> 美NASA Lewis研究中心发表了一份报告,介绍利用甲烷或乙烷气体采用低频等离子沉积技术在室温下制造一种非晶碳氢(a-C:H)薄膜。这种薄膜具备以下奇特的性质:(a)它们可附着在各种各样的材料上(包括石英绝缘体、半导体和金属);(b)它们仅含碳和氢;(c)它们非常光滑无任何孔洞;(d)它们能耐潮湿和化学腐蚀;

  • 【DOI】10.14024/j.cnki.1004-244x.1988.09.003
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