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金刚石薄膜的特性及其应用探讨

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【作者】 林鸿溢

【机构】 北京理工大学

【摘要】 金刚石是具有特种功能的超硬材料,过去金刚石的来源,除极稀少的天然金刚石外,人工合成是另一来源。合成全刚石要通过苛刻的实验条件才能实现。由于所获得的是颗粒状金刚石,难于加工,而限制了其用途。近年来发展的等离子体技术,可以在低压下合成金刚石薄膜,有可能大大扩大其应用领域。合成薄膜的压力仅仅是过去的亿分之一到百万分之一,具有很大的优越性。本文探讨了金刚石薄膜的特性、制备及其应用前景。

  • 【DOI】10.14024/j.cnki.1004-244x.1988.11.002
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