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工艺因素对TiAlN多元涂层成分的影响

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【作者】 熊仁章夏立芳雷廷权

【Author】 Xiong Renzhang,Xia Lifang,Lei Tingquan

【机构】 兵器工业第五二所宁波分所哈尔滨工业大学

【摘要】 用多弧离子镀方法制备了不同成分的TiAlN多元涂层 ,研究并讨论了沉积工艺参数对涂层成分的影响规律和影响机理 ,探讨了涂层成分的控制方法。

【关键词】 多弧离子镀TiAlN涂层成分
  • 【DOI】10.14024/j.cnki.1004-244x.2000.05.015
  • 【分类号】TG174
  • 【被引频次】45
  • 【下载频次】412
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