文献知网节
  • 记笔记

CVD金刚石薄膜晶粒尺寸对热导率的影响

黄元盛刘正义瞿全炎丘万奇

华南理工大学

摘要:用直流等离子喷射法 ,以甲烷、氢和氩气的混合气体为原料 ,在钼基体上合成了较高质量的CVD金刚石薄膜。对该薄膜的生长面及其背面的晶粒尺寸进行了研究 ,指出其一般规律 ,进一步探讨了CVD金刚石薄膜的晶粒尺寸对其热导率的影响规律。
  • DOI:

    10.14024/j.cnki.1004-244x.2001.04.009

  • 专辑:

    理工B(化学化工冶金环境矿业); 理工C(机电航空交通水利建筑能源); 理工A(数学物理力学天地生)

  • 专题:

    物理学; 工业通用技术及设备

  • 分类号:

    O484

  • 手机阅读
    即刻使用手机阅读
    第一步

    扫描二维码下载

    "移动知网-全球学术快报"客户端

    第二步

    打开“全球学术快报”

    点击首页左上角的扫描图标

    第三步

    扫描二维码

    手机同步阅读本篇文献

  • HTML阅读
  • CAJ下载
  • PDF下载

下载手机APP用APP扫此码同步阅读该篇文章

下载:186 页码:28-30 页数:3 大小:46k

相关文献推荐
  • 相似文献
  • 读者推荐
  • 相关基金文献
  • 关联作者