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硅微米晶须的定向排列生长

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【作者】 于灵敏范新会严文

【Author】 YU Ling min;FAN Xin - hui;YAN Wen Institute of Materials and Chemicals, Xi’an Institute of Technology, Xi’an 710032,China

【机构】 西安工业学院材料与化工学院西安工业学院材料与化工学院 陕西 西安 710032陕西 西安 710032陕西 西安 710032

【摘要】 利用物理热蒸发法在1016~1066℃的温度范围内成功制备出定向排列生长的硅微米晶须。借助扫描电子显微镜(SEM),X射线能谱分析仪(EDX)和透射电子显微镜(TEM)研究了硅微米晶须的形貌、化学成分及晶体结构,讨论了环境压力对硅微米晶须生长有序性的影响。研究结果表明,在环境压力为13.3kPa时,硅微米晶须均垂直于衬底表面生长,定向排列生长的硅微米晶须面积可达13mm×6mm;硅微米晶须的生长遵循气—液—固(VLS)机制;透射电子显微镜观察及选取电子衍射花样表明,硅微米晶须的球形头部为晶体,杆的中部为晶体外包覆非晶体的结合体,杆的尾部为非晶体;环境压力越低,硅微米晶须的定向排列的方向性越好。

【关键词】 硅微米晶须定向排列环境压力
【基金】 陕西省自然科学基金2001C56
  • 【DOI】10.14024/j.cnki.1004-244x.2004.03.014
  • 【分类号】O782
  • 【被引频次】1
  • 【下载频次】121
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