节点文献

基于SOI材料的兵器微电子技术应用分析

免费订阅

【作者】 张新高勇王彩琳邢昆山安涛

【Author】 ZHANG Xin, GAD Yong, WANG Cai - lin, XING Kun - shan, AN Tiao ( Autonomous and Engineering School of Xi’an University of Technology, Xi’an 710048, China; East China Institute of Photo - Electron IC, Bengbu 233042, China)

【机构】 西安理工大学自动化学院华东光电集成器件研究所西安理工大学自动化学院 陕西西安710048华东光电集成器件研究所安徽蚌埠233042陕西西安710048陕西西安710048

【摘要】 随着集成技术进入亚微米阶段,传统的硅基集成电路由于存在闩锁等不利因素,使其应用受到了限制。而基于SOI材料的微电子技术是能突破硅材料与硅集成电路限制的新技术,是国际半导体的前沿技术之一,是发展兵器装备用元器件的又一关键材料技术。介绍了SOI材料结构技术用于微电子器件的优势、SOI结构及基于SOI结构材料的兵器微电子技术应用,展望了SOI技术的发展前景。

  • 【DOI】10.14024/j.cnki.1004-244x.2005.03.020
  • 【分类号】TN401
  • 【被引频次】1
  • 【下载频次】162
节点文献中: 

本文链接的文献网络图示:

浏览历史:
下载历史: