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电解液微弧放电制备氮化铝陶瓷膜研究

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【作者】 何翔郝英杰

【Author】 HE Xiang,HAO Yingjie(Plasma Research Institute,South-Central University for Nationalities,Wuhan 430074,China)

【机构】 中南民族大学等离子体研究所

【摘要】 用电解液等离子体微弧放电工艺,在纯铝基片上制备陶瓷改性层。选择CO(NH2)2电解液体系,添加(NaPO3)6辅助放电。用XRD分析不同CO(NH2)2浓度的电解液情况下改性层的物相结构,用XPS研究处理后样品表面的化学成分和结合能,用SEM观察了膜层表面形貌和厚度。结果表明,CO(NH2)2电解液体系中进行等离子体微弧放电,将在纯Al表面得到多晶AlN陶瓷膜改性层。

【关键词】 电解液微弧放电氮化铝表面分析
【基金】 武汉市重点科技攻关计划项目(200721023420)
【所属期刊栏目】 试验研究 (2011年05期)
  • 【DOI】10.14024/j.cnki.1004-244x.2011.05.020
  • 【分类号】TG174.44
  • 【被引频次】2
  • 【下载频次】167
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