节点文献

电致发光器件衬底透镜微结构纳米热压印制备的研究

免费订阅

【作者】 李阳徐维王忆朱铭佳邝文钊

【Author】 LI Yang;XU Wei;WANG Yi;ZHU Mingjia;KUANG Wenzhao;School of Applied Physics and Materials,Wuyi University;

【机构】 五邑大学应用物理与材料学院

【摘要】 采用纳米压印技术在OLED器件衬底上制备可传递三维立体透镜微结构,可有效减小波导、增加出光耦合,从而有望增加器件出光效率。采用紫外曝光与湿法腐蚀技术相结合的方法来制备高精度的石英玻璃纳米压印模板,对模板进行清洗与抗黏连处理。结果表明:所形成的透镜微结构具有平整度好、压印精度高的特点;此种方法制备微结构工艺简单易行,可大面积实现,工艺可操作性、重复性好。

【关键词】 OLED衬底微结构纳米热压印
【基金】 广东省自然科学基金(S2011040005742,10452902001005900);广东省科技创新基金项目(2012KJCX0100);中国博士后基金(20090461297);江门市科技计划基金项目(2011010049758)
【所属期刊栏目】 试验研究 (2013年05期)
  • 【DOI】10.14024/j.cnki.1004-244x.2013.05.008
  • 【分类号】TN383.1
  • 【下载频次】113
节点文献中: 

本文链接的文献网络图示:

浏览历史:
下载历史: