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沉积参数对 CVD-ZnS 块材料组织及力学性能的影响

憨勇郑修麟刘正堂

西安交通大学西北工业大学

摘要:化学气相沉积ZnS是一种脆性材料,其硬度由晶粒尺寸控制,符合Hal-Petch关系,而对晶体缺陷微孔不敏感;断裂韧性则同时受晶粒尺寸及微孔的控制。沉积温度是决定ZnS晶粒大小的主要因素,同时也影响ZnS中的微孔数量;H2S/Zn摩尔流量比、沉积速率则仅影响ZnS中的微孔及微裂纹的存在与否。
  • 专辑:

    理工B(化学化工冶金环境矿业); 理工C(机电航空交通水利建筑能源)

  • 专题:

    金属学及金属工艺

  • 分类号:

    TG111.91

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