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(100)面金刚石的扩散形成

邱万奇刘正义陈剑惠周克崧代明江王德政

华南理工大学广州有色金属研究院

摘要:在纯氢气气氛中对用HFCVD法制备的无晶面的微晶金刚石薄膜进行了扩散热处理,结果表明,微晶金刚石在扩散热处理过程中将选择性长大,形成(100)面金刚石,对低压合成金刚石过程中形成(100)面金刚石和扩散热处理中形成的(100)面金刚石的机理作了讨论。
  • 专辑:

    理工B(化学化工冶金环境矿业); 理工C(机电航空交通水利建筑能源); 电子技术及信息科学

  • 专题:

    无线电电子学

  • 分类号:

    TN304.180.55

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