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激光刻蚀法加工平面传感器电极的工艺研究

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【作者】 张耿黄捷讯黄晓园张绍强郑华叶海

【Author】 ZHANG Geng;HUANG Jiexun;HUANG Xiaoyuan;ZHANG Shaoqiang;ZHENG Hua;YE Hai;School of Electrical Engineering & Intelligentization,Dongguan University of Technology;

【机构】 东莞理工学院电子工程与智能化学院

【摘要】 针对平面传感器对电极在外观、电学性能方面的特殊要求,设计了一种螺旋结构的叉指电极,并重点研究采用激光打标设备刻蚀制作ITO薄膜平面叉指电极时,工作功率、刻蚀速度、刻蚀刀数、填充间距等工艺参数对刻蚀效果的影响,探索出最佳的刻蚀工艺条件。研究结果表明,采用激光打标设备加工薄膜型平面电极,可满足平面气体传感器的实际应用需求。

【关键词】 激光刻蚀ITO薄膜平面传感器电极制作
【基金】 教育部产学合作协同育人项目(20180230200);广东省科技计划(2017A010102019);东莞市社会科技发展项目(2019507140172);校级质量工程项目(201802021,2018020110)
【所属期刊栏目】 电子·通信工程 (2020年03期)
  • 【DOI】10.16002/j.cnki.10090312.2020.03.006
  • 【分类号】TP212;TN249
  • 【下载频次】48
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