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发射光谱结合碰撞辐射模型诊断常压容性耦合等离子体

王墅黄晓江丁可苗晓莉

东华大学理学院

摘要:建立了一个适用于常压容性耦合氩等离子体诊断的简单碰撞辐射(collision radiation,CR)模型,将发射光谱(optical emission spectrum,OES)与CR模型结合,测量常压容性耦合氩等离子体的电子温度(T_e)、电子密度(n_e)等重要参数,并和由一维混合整体模型(hybrid global model)模拟得到的电子温度和电子密度进行比较。结果表明:由两种方法得出的Te和ne随射频源功率变化的趋势基本一致,表明CR模型是正确的,故OES结合CR模型的方法可用于常压容性耦合等离子体的诊断。
  • 专辑:

    理工B(化学化工冶金环境矿业); 理工A(数学物理力学天地生)

  • 专题:

    物理学

  • 分类号:

    O536

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