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工艺参数选择对石英玻璃刻蚀性能的研究

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【作者】 张文琼方亮

【Author】 ZHANG Wenqiong;FANG Liang;Xiamen University Tan Kah Kee College;

【机构】 厦门大学嘉庚学院

【摘要】 采用ICP601型刻蚀机,对石英玻璃进行刻蚀,结果表明,随着气压增大,刻蚀速率增大,0.5 Pa时,刻蚀速率达到峰值50 nm/min,而后随着气压的增大,刻蚀速率降低。0.5 Pa气压下的石英玻璃微槽底部平直,"长草现象"逐步消失。随着功率的增大,刻蚀速率变快。通过不同玻璃材料的刻蚀,可以看出,在采用SF6刻蚀剂的情况下,K9玻璃的刻蚀速率大于石英玻璃的刻蚀速率,GG17耐高温玻璃的刻蚀速率小于石英玻璃的刻蚀速率。本研究可为玻璃微器件制备提供工艺参考。

【关键词】 石英玻璃等离子体刻蚀气压
【基金】 福建省漳州市自然科学基金(ZZ2018J27);厦门大学嘉庚学院预研究项目(YY2019L03)
【所属期刊栏目】 玻璃 (2020年06期)
  • 【DOI】10.16552/j.cnki.issn1001-1625.2020.06.037
  • 【分类号】TQ171.731
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