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MEMS可调光衰减器的波长相关损耗优化

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【作者】 陈旭万助军米仁杰罗志祥

【Author】 Chen Xu;Wan Zhujun;Mi Renjie;Luo Zhixiang;National Engineering Laboratory for Next Generation Internet Access System,Huazhong University of Science and Technology;School of Optical and Electronic Information,Huazhong University of Science and Technology;

【机构】 华中科技大学下一代互联网接入系统国家工程实验室华中科技大学光学与电子信息学院

【摘要】 基于MEMS(微机电系统)扭镜的光束偏转技术是实现VOA(可调光衰减器)的主流技术方案之一,但其存在WDL(波长相关损耗)较大的问题。通过分析WDL的成因,提出了一种优化设计方案。实验测得在波长范围1.53~1.57μm与衰减范围0~20dB内,WDL最大为0.21dB,验证了理论分析的正确性。

【基金】 国家自然科学基金资助项目(61107062)
【所属期刊栏目】 光电器件研究与应用 (2015年06期)
  • 【DOI】10.13756/j.gtxyj.2015.06.012
  • 【分类号】TN715;TN929.11
  • 【下载频次】116
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