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基于有机基板的光耦合系统设计与制作

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【作者】 赵慢孙瑜刘丰满薛海韵曹立强

【Author】 ZHAO Man;SUN Yu;LIU Feng-man;XUE Hai-yun;CAO Li-qiang;Institute of Microelectronics Chinese Academy of Sciences;Unirersity of Chinese Academy of Sciences;National Center for Advanced Packaging;

【通讯作者】 孙瑜;

【机构】 中国科学院微电子研究所三维集成与系统封装中心中国科学院大学华进半导体封装先导技术研发中心

【摘要】 为了提高分布式反馈(DFB)激光器与光纤的耦合容差和耦合效率,文章对DFB激光器与单模光纤的耦合特性进行了理论分析,提出了一种激光器与无源光纤的双透镜耦合系统。采用光线追迹软件仿真了该双透镜系统的耦合效率及容差。传统的硅或氮化铝(AlN)光学耦合平台需要集成到激光驱动电路的有机基板上,文章直接采用有机基板作为光学耦合平台,省去了集成到有机基板的步骤,使组装更方便,集成更简单。对该结构进行应力分析,仿真了BT有机材料、AlN陶瓷材料以及FR4的有机材料分别作为基板材料在最高工作温度下产生的翘曲。根据仿真结果制作了此双透镜系统,并进行了测试。测试结果显示该系统的耦合损耗为4.9 dB,表明此结构可为DFB激光器与单模光纤的耦合提供参考依据。

【基金】 国家重点研发计划资助项目(2017YFB0404800);国家自然科学基金资助项目(61874136)
【所属期刊栏目】 光电器件研究与应用 (2019年04期)
  • 【DOI】10.13756/j.gtxyj.2019.04.008
  • 【分类号】TN248
  • 【下载频次】17
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