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边缘效应对微镜静态特性的影响

袁丽芸梁志达陆静韦笑梅

广西工学院汽车工程系广西工学院汽车工程系 广西柳州545006广西大学土木建筑学院广西南宁530004

摘要:考虑边缘效应的影响,对微镜的静电力驱动扭矩进行了修正,建立了微镜的非线性力学模型,并利用增量迭代的方法求解微镜的静力学方程。数值分析表明,考虑边缘效应后微镜的扭转角增加,在一定情况下微镜的几何尺寸会对边缘效应产生很大的影响,主要因素是微镜的宽度与极板间距的比值。
  • DOI:

    10.16375/j.cnki.cn45-1395/t.2007.04.022

  • 专辑:

    理工C(机电航空交通水利建筑能源); 电子技术及信息科学

  • 专题:

    自动化技术

  • 分类号:

    TP211.4

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