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喷雾热解法制备SnO2:Sb透明导电薄膜

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【作者】 张聚宝侯春翁文剑程逵杜丕一沈鸽汪建勋韩高荣

【Author】 ZHANG Jubao , HOU Chun, WENG Wenjian , CHENG kui , DU Piyi,SHEN Ge, WANG Jianxun, HAN Gaorong(1. Department of Material Science and Engineering, Zhejiang University, Hangzhou 310027; 2. College of Science, Zhejiang University of Technology, Hangzhou 310014, China)

【机构】 浙江大学材料科学与工程系浙江工业大学理学院浙江大学材料科学与工程系 杭州 310027杭州 310014杭州 310027杭州 310027

【摘要】 采用喷雾热解技术制备出了光电性能优良的SnO2:Sb透明导电薄膜,对薄膜的结构特性、光电性质以及制备条件对薄膜性能的影响进行了研究。并进一步研究了喷雾热解法中薄膜的形成过程和工艺参数对薄膜微观结构和性能的影响。实验结果表明:在Sb掺杂量为11%(摩尔分数)和基板温度为500℃的条件下,SnO2:Sb薄膜具有最佳的光电性能,平均可见光透过率为82%,方块电阻达13.4Ω/□,电阻率为4.9×10-4Ω·cm。

【基金】 国家高技术研究发展计划(863计划)项目(2001AA320202)
  • 【DOI】10.14062/j.issn.0454-5648.2003.11.009
  • 【分类号】TB383
  • 【被引频次】51
  • 【下载频次】478
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