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Al–Sc共掺杂ZnO透明导电薄膜的掺杂机制

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【作者】 陈建林陈荐何建军任延杰邱玮陈振华

【Author】 CHEN Jianlin1,CHEN Jian1,HE Jianjun1,REN Yanjie1,QIU Wei1,CHEN Zhenhua2(1.Key Laboratory of Efficient & Clean Energy Utilization,College of Hunan Province,Changsha University of Science & Technology,Changsha,410114;2.College of Materials Science & Engineering,Hunan University,Changsha 410082,China)

【机构】 长沙理工大学能源高效清洁利用湖南省高校重点实验室湖南大学材料科学与工程学院

【摘要】 采用溶胶-凝胶法制备Al-Sc共掺杂ZnO透明导电薄膜,考察了结晶性、晶界状态、紫外-可见光透射光谱及Hall效应,并讨论其掺杂机制,结果表明:Sc单独掺杂时,晶粒尺寸变小,结晶性变差,晶粒表面包裹一层非晶相,透射光谱存在较大的吸收谷,无导电性;Al-Sc共掺杂时,晶粒表面无非晶相,c轴择优取向性和晶界状态变优,透射光谱无大的吸收谷,载流子迁移率比Al掺杂ZnO薄膜增大约1个数量级。

【基金】 湖南省科技计划(2010FJ3013);湖南省高校创新平台(10K007);理工人才引进基金(1198005)资助项目
【所属期刊栏目】 无机新能源材料专栏 (2011年07期)
  • 【DOI】10.14062/j.issn.0454-5648.2011.07.008
  • 【分类号】TB383.2
  • 【被引频次】2
  • 【下载频次】200
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