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超声喷雾热分解法制备硅薄膜太阳电池用ZnO:In透明导电膜

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【作者】 焦宝臣张晓丹樊正海魏长春孙建赵颖

【Author】 JIAO Baochen,ZHANG Xiaodan,FAN Zhenghai,WEI Changchun,SUN Jian,ZHAO Ying(Institute of Photo-electronic Thin Film Device and Technique,Nankai University,Tianjin 300071,China)

【机构】 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所

【摘要】 采用超声喷雾热分解法,在Eagle 2000衬底上制备ZnO薄膜。通过Hall测试、X射线衍射、扫描电子显微镜和透过率测试研究不同In掺量对ZnO薄膜电学、结构、表面形貌和光学特性的影响。结果表明:当In摩尔掺量(In与ZnO的摩尔比)为1.5%时,获得的薄膜具有较低的电阻率(2.48×10-3 cm);所有In掺杂ZnO薄膜的透过率均达到80%;将ZnO:In薄膜作为前电极应用于μc-Si:H薄膜太阳电池,可以获得5.01%的转换效率。

【基金】 国家高技术研究发展规划(2007AA05Z436,2009AA050602);天津科技支撑(08ZCKFGX03500);国家重点基础研究发展规划(2011CB201605,2011CB201606);国家自然科学基金(60976051);科技部国际合作重点(2006DFA62390,2009DFA-62580);教育部新世纪人才(NCET-08-0295)资助项目
【所属期刊栏目】 陶瓷涂层和薄膜 (2011年12期)
  • 【DOI】10.14062/j.issn.0454-5648.2011.12.010
  • 【分类号】TN304.055;TM914.42
  • 【被引频次】2
  • 【下载频次】185
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