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SnO2:Sb透明导电薄膜的制备及光电性能

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【作者】 王贺魏长平彭春佳程果蔡永秀李丛昱

【Author】 WANG He,WEI Changping,PENG Chunjia,CHENG Guo,CAI Yongxiu,LI Congyu(School of Chemistry and Environmental Engineering,Changchun University of Science and Technology,Changchun 130022,China)

【机构】 长春理工大学化学与环境工程学院

【摘要】 采用溶胶–凝胶法在玻璃基底上制备了Sb掺杂SnO2(SnO2:Sb)透明导电薄膜。研究了Sb掺杂量、镀膜次数、热处理温度对SnO2:Sb薄膜结构和光电性能的影响,利用X射线衍射仪、Fourier变换红外光谱仪、扫描电子显微镜、四探针电阻仪、分光光度计对薄膜样品进行表征。结果表明:SnO2:Sb薄膜为四方相金红石结构;薄膜结构平整、致密,膜厚与镀膜次数基本成线性关系;在Sb掺杂量为10%,镀膜8次的条件下,薄膜具有最佳的光电性能,方块电阻达105/□;在玻璃上镀SnO2:Sb薄膜后,近红外波段透过率下降显著,由90%降到5.5%,在可见光波段略有降低,仍保持了较高透过率。

【关键词】 溶胶–凝胶锑掺杂薄膜光电性能
【基金】 吉林省教育厅科技计划项目(200826)资助
【所属期刊栏目】 无机新能源材料专题 (2012年07期)
  • 【DOI】10.14062/j.issn.0454-5648.2012.07.001
  • 【分类号】O484.4
  • 【被引频次】16
  • 【下载频次】231
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