文献知网节
  • 记笔记

DSW光刻机中的最短时间自动对准系统

王文平刘永强罗培成王彦池

河北机电学院自动化系

摘要:本文研究了最短时问控制系统在 DSW 光刻机自动对准系统中的应用问题。研究结果表明,这种控制系统能很好地满足系统的性能指标,其对准时间很短,t_s≤0.14秒,并且具有较高的对准精度,σ≤0.01μm(微米)
  • 专辑:

    理工A(数学物理力学天地生); 电子技术及信息科学

  • 专题:

    自动化技术

  • 手机阅读
    即刻使用手机阅读
    第一步

    扫描二维码下载

    "移动知网-全球学术快报"客户端

    第二步

    打开“全球学术快报”

    点击首页左上角的扫描图标

    第三步

    扫描二维码

    手机同步阅读本篇文献

  • CAJ下载
  • PDF下载

下载手机APP用APP扫此码同步阅读该篇文章

下载:16 页码:29-33 页数:5 大小:155K

相关推荐
  • 相似文献
  • 读者推荐
  • 相关基金文献
  • 关联作者
  • 相关视频