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基于Workbench对硅片切割加工夹具的优化设计

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【作者】 刘建吴波

【Author】 LIU Jian;WU Bo;School of Mechanical and Electrical Engineering,Wuhan University of Technology;

【机构】 武汉理工大学机电工程学院

【摘要】 针对硅棒在切割加工过程中加工精度不足、效率低等问题,研发了一款用于硅棒加工的金刚石切割夹具。为了使夹具系统的性能更好,使用Workbench软件对夹具进行了的静力学分析,求解出夹具的应力应变云图;根据夹具的频率方程,得出夹具前20阶自由模态固有频率,将求解结果与其工作频率进行对比分析;通过选择合适的设计变量,对夹具进行轻量化设计,获取夹具的最优结构尺寸。由于夹具在不同工况下所受的载荷不一样,所以结合VB和ANSYS软件设计了夹具工况分析系统,用于夹具的快速分析和优化,可有效提高夹具的设计效率。

【关键词】 硅棒夹具工况分析系统
【基金】 国家大学生创新训练计划基金资助项目(2012049704010)
【所属期刊栏目】 数字化设计与制造 (2020年03期)
  • 【DOI】10.19356/j.cnki.1001-3997.2020.03.051
  • 【分类号】TM275;TQ127.2
  • 【下载频次】58
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