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利用飞秒激光烧蚀加工金属掩模板

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【作者】 王卫京周新颖刘文军

【机构】 威海职业学院哈尔滨工业大学光电科学系 山东威海264200山东威海264200山东威海264209

【摘要】 本论文主要描述了飞秒激光加工的特征和机理,应用高重复频率、低能量的飞秒脉冲来直接烧蚀金属铬膜层。用放大倍数/数值孔径为10×/0.25的显微物镜对中心波长为812nm、脉冲宽度为90fs、重复频率为75MHz的飞秒脉冲进行聚焦后,对玻璃基底厚度为145nm铬膜层进行烧蚀,制成了线宽为5μm、周期为40μm的栅格状掩模板和空间点阵结构掩模板,加工的金属铬掩模板可以作为透射式光学元件使用,测得了掩模板的衍射图样。这一研究对于加工微电子模板和微光学元件有着应用的价值。

【关键词】 激光技术超快光学烧蚀金属掩模板
【所属期刊栏目】 高校讲台 (2007年21期)
  • 【分类号】TG665
  • 【被引频次】1
  • 【下载频次】256
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