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原子光刻技术

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【作者】 刘敏

【Author】 LIU Min(Tangshan College,Department of Foundational Teaching,Tangshan Hebei 063000)

【机构】 唐山学院基础教学部

【摘要】 针对原子光刻技术在纳米计量及传递作用中的特殊地位,介绍了该技术的基本原理、方案、刻及Cr原子光刻实验.通过与其他微刻印方法的比较,展望了其应用于微电子学等领域的前景。

【关键词】 纳米计量纳米传递原子光刻沉积条纹
【所属期刊栏目】 机械与电子 (2009年15期)
  • 【分类号】TB383
  • 【被引频次】2
  • 【下载频次】190
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