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磁控溅射技术在刀具涂层中的应用

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【作者】 闫继超

【机构】 河南煤炭建设集团有限责任公司焦作弹簧分公司

【摘要】 <正>磁控溅射作为一种应用广泛的真空镀膜技术,被普遍和成功地应用于许多方面,如材料表面处理、微电子、光学薄膜等,目前磁控溅射技术应用的领域还在不断扩展。1.常用的镀膜技术

【所属期刊栏目】 工程技术 (2009年22期)
  • 【分类号】TG174.4
  • 【被引频次】1
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