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掺杂与热处理对VO2膜的微观结构及可见光透过率的影响

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【作者】 王玲应徐超夏丹薇付佳佳张涛王梓函孔凤玉

【Author】 WANG Ling;YING Xuchao;XIA Danwei;FU Jiajia;ZHANG Tao;WANG Zihan;KONG Fengyu;Ningbo University of Technology;

【通讯作者】 孔凤玉;

【机构】 宁波工程学院

【摘要】 采用溶胶凝胶法制备了钨掺杂和不掺杂的二氧化钒薄膜,研究了不同退火温度、退火时间对薄膜微观结构的影响,以及不同掺杂量的钨离子对薄膜可见光透过率的影响。XRD结果表明:薄膜样品为VO2(M)相结构;SEM结果分析表明:薄膜晶粒尺寸大小和间距随退火温度的升高、退火时间的增加而变大;UV-vis测试结果表明:与未掺杂氧化钒薄膜相比,W离子掺杂有利于提高VO2薄膜可见光的透过率,在400nm处透过率从47%增加到67%,在VO2薄膜表面涂覆SiO2膜,该涂层可以提高可见光的透过率(在600 nm附近提高3%)。

【关键词】 二氧化钒薄膜掺杂热处理
【基金】 浙江省学生科技创新活动计划资助项目(2017R424002);国家自然科学基金(51601101);宁波市自然科学基金(2017A610029)
【所属期刊栏目】 理工研究 (2019年02期)
  • 【分类号】TQ135.11
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