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基于MEMS的微流体机械研究进展

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【作者】 王沫然李志信

【Author】 Wang Moran Li Zhixin

【机构】 清华大学清华大学 北京100084北京100084

【摘要】 介绍了近十年特别是近三年以来微流动系统研究的最新成果 ,具体介绍了新型微加速度计、微泵、微喷、微阀、微通道及微系统的结构、原理及应用情况 ,并对微流动系统研究中存在的问题和发展方向作了简述。

【关键词】 MEMS微流动系统微加速度计微泵微喷微阀微通道
【基金】 国家自然科学基金重大资助项目 (59995550 -2 );国家重点基础研究发展规划项目 (G1 9990 3 3 1 0 6)
  • 【分类号】TH703
  • 【被引频次】63
  • 【下载频次】865
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