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高级别洁净室气流组织的优化

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【作者】 赵金亮刘俊杰朱能

【Author】 ZHAO Jin-liang, LIU Jun-jie,ZHU Neng(Tianjin University, Tianjin 300072,China)

【机构】 天津大学天津大学 天津300072天津300072天津300072

【摘要】 利用CFD方法对拟采用风机过滤器单元(FFUs)洁净空调方案的ISO5级电子工业洁净室进行模拟,得出室内气流速度场,分析其性能,通过理论公式计算所能达到的洁净度。认为通过合理布置末端FFU送风口位置及选择回风形式,以及选用较高级别的末端过滤器,可以在FFU满布率较低时达到较高的洁净度级别。

  • 【分类号】TU831
  • 【被引频次】13
  • 【下载频次】325
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