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一种负压驱动的蠕动微型泵设计

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【作者】 崔建国王洪

【Author】 CUI Jian-guo,WANG Hong(Chongqing University of Technology,Chongqing 400054,China)

【机构】 重庆理工大学

【摘要】 微型泵作为集成微流体中不可或缺的元素,在过去20年间取得了很大的进展。基于真空负压驱动原理,研制了一种结构简单的蠕动式微型泵。微型泵由三层聚二甲基硅氧烷(PDMS)材料构成(气路层,流路层,驱动薄膜层),并通过表面等离子体氧化处理技术实现了PDMS层之间的键合封装,其全部结构均采用激光器加工制作而成。蠕动驱动模式的关键在于利用气路周期性地传递负压力波,进而实现弹性薄膜的顺序变形,其中负压源通过电磁阀(EMV)进行通断控制。这种结构简化了常规蠕动泵模型中的复杂逻辑控制。实验结果表明在50kPa负压和30Hz驱动频率的条件下,获得的最佳流速为170μL/min。

【关键词】 微型泵微流体负压驱动蠕动
【基金】 重庆市自然科学基金项目(cstc2011jjA10018)
【所属期刊栏目】 经验交流 (2012年12期)
  • 【分类号】TH38
  • 【被引频次】4
  • 【下载频次】147
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