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三维互连电阻解析与边界元耦合提取方法

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【作者】 王习仁喻文健王泽毅

【Author】 WANG Xiren, YU Wenjian, WANG Zeyi(Department of Computer Science and Technology, Tsinghua University, Beijing 100084, China)

【机构】 清华大学计算机科学与技术系清华大学计算机科学与技术系 北京100084北京100084北京100084

【摘要】 随着深亚微米工艺的广泛应用 ,互连结构日趋复杂 ,现有的互连电阻二维提取已难满足精度要求。该文提出三维解析与边界元耦合提取方法 ,它非均匀地切割互连线 ,对直线段用解析公式计算 ,对有复杂连接关系的线段用改进边界元法计算 ,再将两者耦合成整体电阻。对版图实例的实验表明 ,与商业软件 Raphael相比 ,该方法有 2~ 3个数量级的加速比 ,使用的内存是商业软件的 0 .1%~ 1% ,精度比默认网格划分时的 Raphael还要高 ,证实该方法是快速精确的

【基金】 国家“八六三”高技术项目 ( 2 0 0 2 AA1Z14 60 SOC)
  • 【DOI】10.16511/j.cnki.qhdxxb.2004.09.032
  • 【分类号】TN402
  • 【被引频次】4
  • 【下载频次】80
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