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背膜工艺占功比对PERC太阳电池效率影响的研究

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【作者】 陈刚康忠平江坚张剑峰

【Author】 Chen Gang;

【通讯作者】 康忠平;

【机构】 浙江正泰太阳能科技有限公司

【摘要】 研究了一种通过调整A型416管式PECVD的背膜工艺占功比,使等离子体辉光放电稳定均匀,改善PERC多晶硅太阳电池背膜均匀性,同时提升电池效率的方法。

【关键词】 PERC416管式PECVD背膜工艺效率
【所属期刊栏目】 技术产品与工程 (2019年07期)
  • 【分类号】TM914.4
  • 【下载频次】10
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