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AlN薄膜压电微机械超声换能器的设计与优化

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【作者】 娄利飞赵建新梁雅楠赵明阳安再芳

【Author】 LOU Lifei;ZHAO Jianxin;LIANG Ya’nan;ZHAO Mingyang;AN Zaifang;School of Microelectronics,Xidian University;

【机构】 西安电子科技大学微电子学院

【摘要】 由于现有的超声换能器多以锆钛酸铅(Pb(Zr1-xTix)O3)和氧化锌(ZnO)材料为压电薄膜,而锆钛酸铅(PZT)含铅,氧化锌存在污染互补金属氧化物半导体制造的问题,对此设计了以氮化铝材料作为压电层的圆形双叠片弯曲振动压电超声微机械换能器。对换能器工作原理进行了分析,建立了有限元模型,针对换能器的尺寸参数进行了有限元仿真。研究发现,换能器谐振频率与各层厚度成正比,与换能器半径的平方成反比;当上电极半径为换能器半径的65%左右时,换能器的谐振振幅最大;当振动层硅和压电层氮化铝的厚度比为0.6左右时,其谐振振幅也最大。对优化后的换能器进行仿真,并与原模型进行了对比。结果表明,空气中的工作频率为9.21MHz,机电耦合系数在空气中从21.44%提高至27.16%,在水中从3.55%提高至11.93%。这些结论为医疗成像探头的研究提供了基础数据。

  • 【DOI】10.19665/j.issn1001-2400.2020.03.002
  • 【分类号】TB552
  • 【下载频次】132
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