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光电极值法测厚多层介质膜镀膜机性能的几点改进

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【作者】 李之慧陶然·瓦吉地杨雅丽

【机构】 新疆大学物理系激光室新疆大学物理系激光室

【摘要】 <正> 引言使激光技术普及应用并在我国社会主义建设中充分发挥其力量,这始终是激光研究的主要课题之一。我国第一台激光器运转已有十五年以上的历史。但是,至今没有普及,其中一个重要原因是激光器的售价太高,寿命不长,而要降低激光器的售价就要求提高激光器原件的质量,并降低其成本,特别是提高反射镜片的质量并降低其成本。为了这个目的,我们对“光电极值法”测厚多层介质膜镀膜机的性能作了改进,取得了明显的效果,可以说几个主要指标如保持基片和膜层的清洁、膜层厚度的相对精确上、低消耗电量上、设备

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