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XPS深度剖析的表征

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【作者】 刘昶时刘慧英

【Author】 Liu Changshi (Xinjiang Institute of Physics, Academia Sinica, Urumqi 830011) Liu Huiying (The Large Unit Hospital of Xinjiang, Urumqi 830002)

【机构】 中国科学院新疆物理研究所新疆兵团医院

【摘要】 本文基于XPS深度剖析的实验结果,提出了两种不依赖于XPS谱议灵敏度因子的XPS深度剖析实验结果的表征方法,并将此二法与其它三种XPS深度剖析表征法进行了比较。

【关键词】 衰征深度剖析剖面XPS
  • 【分类号】O472
  • 【下载频次】275
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