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BaTiO3薄膜的Sol-gel法制备及对其介电特性的研究

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【作者】 沈良宋世庚贾锐陶明德

【Author】 Shen Liang Song Shigeng Jia Rui Tao Mingde (Xingjiang Institute of Physics,Chinese Academy of Sciences,Urumqi,830011)

【机构】 中国科学院新疆物理研究所!乌鲁木齐 830011

【摘要】 以钛酸四丁酯和乙酸钡为主要原料,以乙二醇独甲醚为溶剂,采用溶胶凝胶法在(100)低阻硅片上制备了BaTiO-3薄膜电容,用XRD分析了该薄膜的结构,发现薄膜在硅片上取向生长,同时又对薄膜的介电性质进行研究,结果表明,薄膜的介电特性在高频范围内随频率的变化比较稳定并讨论了晶化温度对薄膜电容的影响

【关键词】 BaTiO3薄膜溶胶-凝胶法介电性质
  • 【分类号】TN304.055
  • 【被引频次】5
  • 【下载频次】83
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