节点文献

近距离升华薄膜装置的研制及特性

免费订阅

【作者】 陈树义郑毓峰简基康李东来马忠权

【Author】 CHEN Shu-yi, ZHENG yu-feng, JIAN Ji-kang, et al. (Department of Physics, Xinjiang University, Urumqi, Xinjiang 830046, China)

【机构】 新疆大学物理系新疆大学物理系 新疆乌鲁木齐830046新疆乌鲁木齐830046新疆乌鲁木齐830046

【摘要】 详细介绍了近距离升华 (CSS)薄膜装置的研制及其特性 .并对利用该装置及利用射频溅射沉积的 Cd Te膜的结构进行了 XRD分析 .结果表明 ,CSS方法所得 Cd Te膜具有较大的晶粒尺度 ,结晶效果更好 .

【关键词】 近距离升华薄膜CdTeXRD
【基金】 国家自然科学基金资助项目 (5 986 2 0 0 2 )
  • 【分类号】TM914
  • 【被引频次】4
  • 【下载频次】75
节点文献中: 

本文链接的文献网络图示:

浏览历史:
下载历史: