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用M-C方法计算低能V~+注入花生种子的深度-浓度分布

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【作者】 王林香王世亨

【Author】 WANG Lin-xiang, WANG Shi-heng(Department of Physics, Xinjiang University, Urumqi, Xinjiang 830046, China)

【机构】 新疆大学物理系新疆大学物理系 新疆乌鲁木齐830046新疆乌鲁木齐830046

【摘要】 实验表明,低能重离子注入植物种子后的深度-浓度分布曲线是一个非对称高斯分布,直接用LSS理论计算该分布,与实验结果差别甚大.本文根据植物种子的结构特点,对靶材料进行了处理,并对LSS理论进行了修正,用M-C方法计算了初始能量为2 0 0 ke V的V+注入花生种子的深度-浓度分布,得到了与实验结果符合较好的分布曲线.

  • 【分类号】S565.2
  • 【被引频次】10
  • 【下载频次】51
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