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Ba(Zr0.3Ti0.7)O3铁电薄膜的制备

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【作者】 张红燕翟继卫张军

【Author】 ZHANG Hong-yan+1, ZHAI Ji-wei+2, ZHANG Jun+1 (1.Departent of Physics,Xinjiang University,Urumqi,Xingjiang 830046,China; 2.Functional Materials Reasearch Laboratory,Tongji University,Shanghai 200092,China)

【机构】 新疆大学物理系同济大学功能材料研究所新疆大学物理系 新疆乌鲁木齐830046上海200092新疆乌鲁木齐830046

【摘要】 介绍了用溶胶-凝胶法(sol-gel)在Pt/Ti/SiO2/Si衬底和石英衬底上制备Ba(Zr0.3Ti0.7)O3铁电薄膜的基本原理、工艺过程及工艺特点;Sol-gel制备的Ba(Zr0.3Ti0.7)O3铁电薄膜表面平整、厚度均匀.

【关键词】 溶胶-凝胶法铁电薄膜Ba(Zr03Ti07)O3
  • 【分类号】O484.1
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