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多孔硅-PMMA/DR1复合膜制备方法的研究(英文)

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【作者】 贾振红涂楚辙

【Author】 JIA Zhen-hong,TU Chu-zhe(College of Information Science & Engineering,Xinjiang University,Urumqi,Xinjiang 830046,China)

【机构】 新疆大学信息科学与工程学院新疆大学信息科学与工程学院 新疆乌鲁木齐830046新疆乌鲁木齐830046

【摘要】 报道了用电化学腐蚀法结合激光干涉或聚合物掩膜制备多孔硅通道波导、定向耦合器、波导棱镜、光栅耦合器和激光诱导动态光栅等光子器件,并给出了这些多孔硅光波导器件的性能参数,研究结果表明可利用多孔硅开发出新的全硅光电子器件.

【关键词】 多孔硅波导棱镜耦合光栅
【基金】 Supported by Program for New Century Excellent Talents in University of the P.R.China(Grant number:NCET-05-0897);Scientific Research Project for Universities in Xinjiang(Grant number:XJEDU2004E02 and XJEDU2006I10).
【所属期刊栏目】 研究精粹 (2007年02期)
  • 【分类号】TN304.05
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