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不同衬底上纳米晶CdTe薄膜的低温制备及光性能研究

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【作者】 郭福强简基康郑毓峰孙言飞徐金宝马灵灵

【Author】 GUO Fu-qiang,JIAN Ji-kang,ZHENG Yu-feng,SUN Yan-fei,XU Jin-bao,MA Ling-ling(College of Physics Science and Technology,Xinjiang University,Urumqi,Xinjiang 830046,China)

【机构】 新疆大学物理科学与技术学院新疆大学物理科学与技术学院 新疆乌鲁木齐830046新疆乌鲁木齐

【摘要】 在液氮温度下采用射频(R.F)磁控溅射在普通玻璃(glass)、单晶硅(Si)和陶瓷(Al2O3)衬底上制备出了纳米晶CdTe薄膜.采用X射线衍射(XRD)和场发射扫描电镜(FESEM)对薄膜的晶体结构与外貌形态进行了表征.XRD测试表明在glass和Si衬底上的CdTe薄膜比在Al2O3衬底有较好的结晶性,且在(111)晶面有较高的择优取向.在glass和Si衬底上的CdTe薄膜晶粒尺度约为25nm,而在Al2O3衬底上得到的薄膜晶粒尺度约为15nm左右.FESEM测试显示薄膜在glass和Si衬底上的结晶形态比Al2O3衬底较平整,致密.同时对玻璃衬底上不同沉积时间得到的纳米薄膜进行了光学性能研究.

【关键词】 CdTe薄膜R.F磁控溅射晶体结构
【所属期刊栏目】 数理科学 (2008年02期)
  • 【分类号】O484
  • 【被引频次】1
  • 【下载频次】134
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