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基于多孔硅微腔微阵列的制备及检测

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【作者】 陈位荣贾振红吕小毅李鹏

【Author】 CHEN Weirong;JIA Zhenhong;LV Xiaoyi;LI Peng;College of Physical Science and Technology, Xinjiang University;Colleges of Information Science and Engineering, Xinjiang University;

【机构】 新疆大学物理科学与技术学院新疆大学信息科学与工程学院

【摘要】 我们结合光刻和电化学腐蚀方法,成功在单晶硅衬底上制备出一个8×8的一维多孔硅光子晶体微腔的微阵列器件,微阵列的每个阵列单元直径300μm,间距200μm.研究了这种微阵列在633nm激光入射情况下的光学特性.利用我们制备的多孔硅光子晶体微腔的微阵列器件,借助数字图像测量方法,可实现快速的检测.本文的研究结果可应用于生物传感器阵列的检测.

【关键词】 多孔硅微腔微阵列
【基金】 国家自然科学基金(61265009;11264038);新疆科技厅项目(201412112)
【所属期刊栏目】 数理科学 (2016年03期)
  • 【DOI】10.13568/j.cnki.651094.2016.03.011
  • 【分类号】TP212.3
  • 【被引频次】1
  • 【下载频次】132
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